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場所
3-1 Akasaka 5-chome
Akasaka Biz Tower
Minato-ku 107-6325
日本
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Thermal Processing
Coater/Developers
Etch Systems
Surface Preparation Systems
Single Wafer Deposition
Test Systems
Wafer Bonding/Debonding
SiC Epitaxial CVD System
Gas Cluster Ion Beam System

タイプ