グラインダ、スライシング、ダイシング＆Wafering
6
のこぎり、トリミング＆ダイシング
20
ポリッシャ、オプティカル
21
ポリッシャ、ウェーハ
14
設備備品
3
スパッタリング単位
2
ワイヤボンダ
16