のこぎり、トリミング&ダイシング
20
グラインダ、スライシング、ダイシング&Wafering
6
ポリッシャ、オプティカル
20
ポリッシャ、ウェーハ
14
設備備品
3
スパッタリング単位
1
ワイヤボンダ
16